Што е вакуумско премачкување?
Вакуумското обложување е напредна технологија која таложи функционални тенки филмови на површината на подлогите преку физички или хемиски методи во вакуумска средина. Нејзината основна вредност лежи во високата чистота, високата прецизност и заштитата на животната средина, и е широко користена во оптиката, електрониката, алатите, новата енергија и други области.
Дали системот за вакуумско премачкување треба да биде опремен со влезни филтри?
Прво, да дознаеме кои се вообичаените загадувачи во вакуумското премачкување. На пример, честички, прашина, маслена пареа, водена пареа итн. Овие загадувачи што ќе влезат во комората за премачкување ќе предизвикаат намалување на брзината на таложење, нерамномерен филмски слој, па дури и оштетување на опремата.
Ситуацијата каде што вакуумското обложување бара влезни филтри
- За време на процесот на обложување, целниот материјал прска честички.
- Барањето за чистота на филмскиот слој е високо, особено во областа на оптиката и полупроводниците.
- Постојат корозивни гасови (лесно се создаваат при реактивно распрскување). Во овој случај, филтерот се инсталира главно за заштита на вакуум пумпата.
Ситуацијата каде што вакуумското обложување не бара влезни филтри
- Многу даватели на услуги за вакуумско премачкување користат систем со висок вакуум без масло (како молекуларна пумпа + јонска пумпа), а работната средина е чиста. Затоа, нема потреба од влезни филтри, па дури ни од издувни филтри.
- Постои уште една ситуација каде што не се потребни влезни филтри, односно барањето за чистота на филмскиот слој не е високо, како на пример за некои декоративни премази.
Други за пумпата за дифузија на масло
- Ако се користи пумпа за масло или пумпа за дифузија на масло,издувен филтермора да се инсталира.
- Полимерниот филтерски елемент не е отпорен на висока температура на дифузионата пумпа
- При употреба на пумпа за дифузија на масло, маслото од пумпата може да се врати назад и да ја контаминира комората за обложување. Затоа, потребна е ладна преграда или преграда за масло за да се спречи несреќата.
Како заклучок, дали е потребен систем за вакуумско обложувањевлезни филтризависи од барањата на процесот, дизајнот на системот и ризикот од контаминација.
Време на објавување: 19 април 2025 година
