Во софистицираниот свет на тенкофилмско таложење, испарувањето со електронски зрак (е-зрак) се издвојува по својата способност да создава густи премази со висока чистота. Фундаментално прашање околу оваа технологија е дали е потребна вакуум пумпа. Одговорот е недвосмислено да. Високо-перформансниот вакуумски систем не е само додаток, туку апсолутен предуслов за процесот да функционира ефикасно и ефикасно.
Јадрото на испарувањето со е-зрак вклучува фокусирање на електронски зрак со висока енергија врз изворен материјал (како што се злато, силициум оксид или алуминиум) содржан во водено ладен сад. Интензивното локално загревање предизвикува материјалот да се топи и да испарува. Овие испарени атоми потоа патуваат по патека со линија на видливост и кондензираат на подлогата, формирајќи тенок филм. Целата оваа секвенца е критично зависна од средина со висок вакуум, обично во опсег од 10⁻³ Pa до 10⁻⁶ Pa.
Потребата за таков екстремен вакуум е тројна. Прво, тој обезбедува непречено движење на електронскиот зрак. Во присуство на премногу молекули на гас, електроните би се распрснале и судриле, губејќи ја својата енергија и не успевајќи да достават концентрирана топлина до целта. Зракот би се дефокусирал, правејќи го процесот неефикасен.
Второ, и најважно, вакуумската средина ја гарантира чистотата и квалитетот на наталожениот филм. Без неа, преостанатите гасови како кислород и водна пареа би го контаминирале премазот на два катастрофални начина: тие би реагирале хемиски со испарениот материјал за да формираат несакани оксиди и би се инкорпорирале во растечкиот филм како нечистотии. Ова резултира со филм кој е порозен, помалку леплив и поседува инфериорни механички и оптички својства. Високиот вакуум создава чиста, „балистичка“ патека за испарените атоми, дозволувајќи им да кондензираат во густ, униформен и слој со висок интегритет.
Конечно, вакуумот го штити филаментот на електронскиот пиштол. Термионската катода што емитува електрони работи на екстремно високи температури и би оксидирала и изгорела речиси веднаш ако е изложена на воздух.
Затоа, софистициран систем за пумпање - комбинирање на пумпи за грубо пресување и пумпи со висок вакуум како турбомолекуларни или дифузни пумпи - е неопходен. Како заклучок, вакуум пумпата не само што овозможува испарување на електронски зрак; таа го дефинира, формирајќи нераскинлива врска што е неопходна за производство на високо-перформансни премази што ги бараат индустриите, од полупроводници до оптика. Исто така, треба да имафилтриза заштита на вакуумските пумпи, ако ги нема,контактирајте не.
Време на објавување: 12 ноември 2025 година
