PECVD സോളാർ കോട്ടിംഗിലെ വാക്വം പമ്പ് ഫിൽട്ടറുകൾ

ഫോട്ടോവോൾട്ടെയ്ക് നിർമ്മാണ വ്യവസായത്തിൽ, PECVD (പ്ലാസ്മ എൻഹാൻസ്ഡ് കെമിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ) കോട്ടിംഗ് ഏറ്റവും പ്രധാനപ്പെട്ട ഉൽപാദന പ്രക്രിയകളിൽ ഒന്നാണ്. ഈ പ്രക്രിയയിൽ, സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ ഒരു സ്ഥിരതയുള്ള വാക്വം പരിതസ്ഥിതിയിൽ കൈകാര്യം ചെയ്യണം, അങ്ങനെ നേർത്ത ഫിലിമുകൾ വേഫർ പ്രതലത്തിൽ തുല്യമായി നിക്ഷേപിക്കാൻ കഴിയും. വാക്വം പരിതസ്ഥിതിയുടെ ഗുണനിലവാരം കോട്ടിംഗിന്റെ ഏകത, സെൽ കാര്യക്ഷമത, മൊത്തത്തിലുള്ള ഉൽപ്പന്ന ഗുണനിലവാരം എന്നിവയെ നേരിട്ട് ബാധിക്കുന്നു.

ചേമ്പറിൽ നിന്ന് തുടർച്ചയായി വാതകങ്ങൾ നീക്കം ചെയ്തും ആവശ്യമായ വാക്വം ലെവൽ നിലനിർത്തിയും PECVD സിസ്റ്റങ്ങളിൽ വാക്വം പമ്പുകൾ നിർണായക പങ്ക് വഹിക്കുന്നു. എന്നിരുന്നാലും, കോട്ടിംഗ് പ്രതിപ്രവർത്തന സമയത്ത്, വലിയ അളവിൽ സിലിക്കൺ അധിഷ്ഠിത പൊടിയും പ്രതിപ്രവർത്തന ഉപോൽപ്പന്നങ്ങളും സൃഷ്ടിക്കപ്പെടുന്നു. വാക്വം പൈപ്പ്‌ലൈനിലൂടെ വായുപ്രവാഹം വഴി ഈ കണികകൾ കൊണ്ടുപോകപ്പെടുന്നു, ഫലപ്രദമായ ഫിൽട്രേഷൻ സംരക്ഷണം ഇല്ലെങ്കിൽ വാക്വം പമ്പിലേക്ക് എളുപ്പത്തിൽ പ്രവേശിക്കാൻ കഴിയും.

ഇല്ലാതെശരിയായ ഫിൽട്രേഷൻ, വാക്വം സിസ്റ്റത്തിനുള്ളിൽ പൊടി മലിനീകരണം ക്രമേണ അടിഞ്ഞുകൂടുന്നു, ഇത് അറ്റകുറ്റപ്പണികളുടെ ആവൃത്തി വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും പ്രവർത്തന വിശ്വാസ്യത കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. തുടർച്ചയായ ഉൽ‌പാദന ലൈനുകൾ പ്രവർത്തിപ്പിക്കുന്ന ഫോട്ടോവോൾട്ടെയ്ക് നിർമ്മാതാക്കൾക്ക്, ഒരു ചെറിയ കാലയളവ് പോലും പ്രവർത്തനരഹിതമാകുന്നത് ഗണ്യമായ ഉൽ‌പാദന നഷ്ടത്തിന് കാരണമാകും. അതിനാൽ, കാര്യക്ഷമവും സ്ഥിരതയുള്ളതുമായ PECVD പ്രവർത്തനങ്ങൾ നിലനിർത്തുന്നതിന് വാക്വം പമ്പുകളെ കണികാ മലിനീകരണത്തിൽ നിന്ന് സംരക്ഷിക്കേണ്ടത് അത്യാവശ്യമാണ്.