Czym jest powlekanie próżniowe?
Powłoki próżniowe to zaawansowana technologia, która polega na nanoszeniu funkcjonalnych cienkich warstw na powierzchnię podłoży metodami fizycznymi lub chemicznymi w środowisku próżniowym. Jej podstawowe zalety to wysoka czystość, precyzja i ochrona środowiska. Technologia ta jest szeroko stosowana w optyce, elektronice, narzędziach, nowych źródłach energii i innych dziedzinach.
Czy system powlekania próżniowego musi być wyposażony w filtry wlotowe?
Po pierwsze, dowiedzmy się, jakie są najczęstsze zanieczyszczenia występujące w procesie powlekania próżniowego. Na przykład cząstki stałe, kurz, opary oleju, para wodna itp. Te zanieczyszczenia przedostające się do komory powlekania spowodują zmniejszenie szybkości osadzania, nierównomierność warstwy powłoki, a nawet uszkodzenie sprzętu.
Sytuacja, w której powlekanie próżniowe wymaga filtrów wlotowych
- W trakcie procesu powlekania materiał docelowy rozpryskuje cząsteczki.
- Wymagania dotyczące czystości warstwy foliowej są wysokie, zwłaszcza w dziedzinie optyki i półprzewodników.
- W tym przypadku filtr jest instalowany głównie w celu ochrony pompy próżniowej.
Sytuacja, w której powlekanie próżniowe nie wymaga filtrów wlotowych
- Wielu dostawców usług powlekania próżniowego stosuje całkowicie bezolejowy system wysokiej próżni (np. pompa molekularna + pompa jonowa), dzięki czemu środowisko pracy jest czyste. Dlatego nie ma potrzeby stosowania filtrów wlotowych, ani nawet wylotowych.
- Istnieje inna sytuacja, w której filtry wlotowe nie są wymagane, tzn. wymagania dotyczące czystości warstwy folii nie są wysokie, jak na przykład w przypadku niektórych powłok dekoracyjnych.
Inne informacje o pompie dyfuzyjnej oleju
- Jeżeli używana jest pompa olejowa lub pompa dyfuzyjna oleju,filtr wydechowymusi zostać zainstalowany.
- Element filtrujący wykonany z polimeru nie jest odporny na wysoką temperaturę pompy dyfuzyjnej
- Podczas stosowania pompy dyfuzyjnej olej może cofać się i zanieczyszczać komorę powlekania. Dlatego, aby zapobiec takiemu wypadkowi, konieczne jest zastosowanie wymrażacza lub przegrody olejowej.
Podsumowując, czy system powlekania próżniowego jest potrzebnyfiltry wlotowezależy od wymagań procesu, projektu systemu i ryzyka zanieczyszczenia.
Czas publikacji: 19 kwietnia 2025 r.
