Czym jest powlekanie próżniowe?
Powłoka próżniowa to zaawansowana technologia, która osadza funkcjonalne cienkie warstwy na powierzchni podłoży za pomocą metod fizycznych lub chemicznych w środowisku próżniowym. Jej podstawowa wartość leży w wysokiej czystości, wysokiej precyzji i ochronie środowiska, i jest szeroko stosowana w optyce, elektronice, narzędziach, nowej energii i innych dziedzinach.
Czy system powlekania próżniowego musi być wyposażony w filtry wlotowe?
Najpierw dowiedzmy się, jakie są powszechne zanieczyszczenia w powlekaniu próżniowym. Na przykład cząstki, kurz, para olejowa, para wodna itp. Te zanieczyszczenia przedostające się do komory powlekania spowodują zmniejszenie szybkości osadzania, nierówną warstwę filmu, a nawet uszkodzenie sprzętu.
Sytuacja, w której powlekanie próżniowe wymaga filtrów wlotowych
- W procesie powlekania materiał docelowy rozpryskuje cząsteczki.
- Wymagania dotyczące czystości warstwy foliowej są wysokie, zwłaszcza w dziedzinie optyki i półprzewodników.
- Istnieją gazy żrące (łatwo wytwarzane w reaktywnym rozpylaniu). W tym przypadku filtr jest instalowany głównie w celu ochrony pompy próżniowej.
Sytuacja, w której powlekanie próżniowe nie wymaga filtrów wlotowych
- Wielu dostawców usług powlekania próżniowego używa całkowicie bezolejowego systemu wysokiej próżni (takiego jak pompa molekularna + pompa jonowa), a środowisko pracy jest czyste. Dlatego nie ma potrzeby stosowania filtrów wlotowych, ani nawet filtrów wylotowych.
- Istnieje również inna sytuacja, w której filtry wlotowe nie są wymagane, tzn. wymagania dotyczące czystości warstwy folii nie są wysokie, jak na przykład w przypadku niektórych powłok dekoracyjnych.
Inne informacje o pompie dyfuzyjnej oleju
- Jeżeli używana jest pompa olejowa lub pompa dyfuzyjna oleju,filtr wydechowymusi być zainstalowany.
- Element filtrujący z polimeru nie jest odporny na wysoką temperaturę pompy dyfuzyjnej
- Podczas korzystania z pompy dyfuzyjnej oleju olej pompy może cofnąć się i zanieczyścić komorę powlekania. Dlatego też, aby zapobiec wypadkowi, wymagana jest pułapka zimna lub przegroda olejowa.
Podsumowując, czy system powlekania próżniowego jest potrzebnyfiltry wlotowezależy od wymagań procesu, projektu systemu i ryzyka zanieczyszczenia.
Czas publikacji: 19-kwi-2025
