Насколько хорошо вы знаете бурно развивающуюся высокотехнологичную отрасль – полупроводниковую промышленность? Полупроводниковая промышленность относится к электронной информационной индустрии и является важной составляющей аппаратной. Она в основном занимается производством полупроводниковых приборов, включая интегральные схемы, диоды, транзисторы и т.д. В процессе производства полупроводников также используется вакуумная технология, поэтому необходимы вакуумные насосы и фильтры.
Вакуумная среда может значительно предотвратить загрязнение заготовки примесями и частицами из воздуха, что критически важно для качества микросхем и других электронных компонентов. Однако эти частицы могут попасть в вакуумный насос и повредить его. Это не только повредит оборудование, но и скажется на качестве продукции. Поэтому необходимо установить фильтр вакуумного насоса.входной фильтр) для защиты вакуумного насоса.
Необходимо выбрать фильтр с соответствующими характеристиками, исходя из размера частиц. Это означает тонкость фильтрации. Кроме того, в процессах производства полупроводников используются различные газы для различных целей, таких как травление и осаждение. Эти газы могут быть коррозионными, поэтому важно выбрать коррозионно-стойкий фильтрующий материал. Если газ не обладает высокой коррозионной активностью, а частицы относительно малы, можно рассмотреть полиэфирное волокно. Если же он обладает высокой коррозионной активностью, можно рассмотреть фильтрующие элементы из нержавеющей стали марки 304 или даже 316, но их тонкость фильтрации относительно низкая.
На рисунке выше показан впускной фильтр, который мы поставляем для сухого винтового вакуумного насоса производителя полупроводников.ЛВГЕПостепенно мы завоевали известность в Китае. Мы сотрудничаем с 26 производителями вакуумных насосов по всему миру, включая ULVAC JANPAN, и обслуживаем многие компании из списка Fortune 500, включая BYD. Мы также сотрудничаем со всё большим количеством отраслей, но всегда работаем в сфере вакуумного оборудования, особенно в области фильтрации вакуумных насосов.
Время публикации: 15 апреля 2024 г.
