Lefatšeng le rarahaneng la ho bea lifilimi tse tšesaane, mouoane oa electron beam (e-beam) o hlahella ka lebaka la bokhoni ba oona ba ho etsa liaparo tse hloekileng, tse teteaneng. Potso ea mantlha e mabapi le theknoloji ena ke hore na e hloka pompo ea vacuum. Karabo ke e, e hlakileng. Sistimi ea vacuum ea ts'ebetso e phahameng ha se ntho feela e fumanehang empa ke tlhokahalo e felletseng ea hore ts'ebetso e sebetse hantle le ka bokhabane.
Moko oa mouoane oa e-beam o kenyelletsa ho tsepamisa lebone la elektrone le nang le matla a phahameng holim'a mohloli oa thepa (joaloka khauta, silicon oxide, kapa aluminium) e ka har'a crucible e pholileng ka metsi. Mocheso o matla oa sebaka seo o etsa hore thepa e qhibilihe ebe e fetoha mouoane. Joale liathomo tsena tse nang le mouoane li tsamaea ka tsela ea pono ebe li kopana holim'a substrate, li etsa filimi e tšesaane. Tatelano ena kaofela e itšetlehile haholo ka tikoloho e nang le vacuum e phahameng, hangata ka har'a sebaka sa 10⁻³ Pa ho isa ho 10⁻⁶ Pa.
Tlhokahalo ea sekheo se joalo se feteletseng se imenne hararo. Ntlha ea pele, e tiisa leeto le sa tsitsang la sefate sa elektronike. Ha ho e-na le limolek'hule tse ngata tsa khase, lielektrone li ne li tla hasana le ho thula, li lahleheloe ke matla a tsona 'me li hlolehe ho isa mocheso o matla sebakeng seo li se batlang. Lebala le ne le tla thella, le etse hore tšebetso e se ke ea sebetsa.
Ea bobeli, 'me ka ho fetisisa, tikoloho ea vacuum e tiisa bohloeki le boleng ba filimi e behiloeng. Ntle le eona, likhase tse setseng tse kang oksijene le mouoane oa metsi li ne li tla silafatsa seaparo ka litsela tse peli tse senyang: li ne li tla itšoara ka lik'hemik'hale ka lintho tse nang le mouoane ho etsa li-oxide tse sa batleheng, 'me li ne li tla kenngoa filiming e ntseng e hōla e le litšila. Sena se fella ka filimi e nang le masoba, e sa khomarelang haholo, 'me e na le thepa e tlaase ea mochine le ea optical. Vacuum e phahameng e etsa hore ho be le tsela e hloekileng ea "ballistic" bakeng sa liathomo tse nang le mouoane, e leng se li lumellang hore li kopane ho ba lesela le teteaneng, le le leng, le le phahameng haholo.
Qetellong, vacuum e sireletsa khoele ea sethunya sa elektrone. Thermionic cathode e ntšang li-electrone e sebetsa ka mocheso o phahameng haholo 'me e ne e tla oxidize le ho chesa hoo e ka bang hang-hang haeba e pepesehetse moea.
Ka hona, sistimi e tsoetseng pele ea ho pompa — e kopanyang lipompo tse thata le lipompo tsa vacuum e phahameng joalo ka lipompo tsa turbomolecular kapa diffusion pump — ke ea bohlokoa haholo. Qetellong, pompo ea vacuum ha e lumelle feela ho fetoha mouoane oa electron; e e hlalosa, ho theha maqhama a ke keng a senyeha a bohlokoa bakeng sa ho hlahisa liaparo tse phahameng tsa ts'ebetso tse hlokoang ke liindasteri ho tloha ho li-semiconductors ho ea ho optics. Hape ho lokela ho ba tengsefehlaho sireletsa lipompo tsa vacuum, haeba ho se na,iteanye le rona.
Nako ea poso: Nov-12-2025
