Hur mycket vet du om den blomstrande framväxande högteknologiska industrin – halvledarindustrin? Halvledarindustrin tillhör den elektroniska informationsindustrin och är en viktig del av hårdvaruindustrin. Den producerar och tillverkar huvudsakligen halvledarkomponenter, inklusive integrerade kretsar, dioder och transistorer, etc. Produktionsprocessen för halvledare använder också vakuumteknik, därför behövs även vakuumpumpar och filter.
Vakuummiljön kan i hög grad förhindra att föroreningar och partiklar i luften förorenar arbetsstycket, vilket är avgörande för kvaliteten på chips och andra elektroniska komponenter. Dessa partiklar kan dock sugas in i vakuumpumpen och sedan skada den. Detta skadar inte bara utrustningen utan påverkar även produktkvaliteten. Därför är det nödvändigt att installera ett vakuumpumpfilter (inloppsfilter) för att skydda vakuumpumpen.
Vi behöver välja lämpliga filterspecifikationer baserat på partiklarnas storlek. Det betyder filtreringens finhet. Dessutom används olika gaser i halvledartillverkningsprocesser för olika ändamål, såsom etsning och deponering. Dessa gaser kan vara korrosiva, så det är också viktigt att välja korrosionsbeständigt filtermedium. Om gasen inte är mycket korrosiv och partiklarna är relativt små kan polyesterfiber övervägas. Om den är mycket korrosiv kan filterelement av rostfritt stål 304 eller till och med rostfritt stål 316 övervägas, men deras finhet är relativt låg.
Bilden ovan visar insugningsfiltret som vi tillhandahåller för en halvledartillverkares torra skruvvakuumpump.LVGEhar gradvis vunnit berömmelse i Kina. Vi har samarbetat med 26 vakuumpumpstillverkare världen över, som ULVAC JANPAN, och har betjänat många företag inom Fortune 500, såsom BYD. Vi har också kontakt med fler och fler branscher, men betjänar alltid vakuumområdet, särskilt filtrering av vakuumpumpar.
Publiceringstid: 15 april 2024
