மெல்லிய படலப் படிவுகளின் அதிநவீன உலகில், எலக்ட்ரான் கற்றை (e-பீம்) ஆவியாதல், உயர்-தூய்மை, அடர்த்தியான பூச்சுகளை உருவாக்கும் திறனுக்காக தனித்து நிற்கிறது. இந்த தொழில்நுட்பத்தைச் சுற்றியுள்ள ஒரு அடிப்படை கேள்வி, இதற்கு ஒரு வெற்றிட பம்ப் தேவையா என்பதுதான். பதில் சந்தேகத்திற்கு இடமின்றி ஆம். உயர் செயல்திறன் கொண்ட வெற்றிட அமைப்பு என்பது ஒரு துணைப் பொருள் மட்டுமல்ல, செயல்முறை திறம்பட மற்றும் திறமையாக செயல்படுவதற்கான ஒரு முழுமையான முன்நிபந்தனையாகும்.
மின்-கற்றை ஆவியாதலின் மையமானது, நீர்-குளிரூட்டப்பட்ட சிலுவையிலுள்ள ஒரு மூலப் பொருளின் மீது (தங்கம், சிலிக்கான் ஆக்சைடு அல்லது அலுமினியம் போன்றவை) ஒரு உயர் ஆற்றல் எலக்ட்ரான் கற்றையை மையப்படுத்துவதை உள்ளடக்கியது. தீவிரமான உள்ளூர் வெப்பமாக்கல் பொருள் உருகி ஆவியாக மாற காரணமாகிறது. இந்த ஆவியாக்கப்பட்ட அணுக்கள் பின்னர் ஒரு லைன்-ஆஃப்-சைட் பாதையில் பயணித்து ஒரு அடி மூலக்கூறில் ஒடுங்கி, ஒரு மெல்லிய படலத்தை உருவாக்குகின்றன. இந்த முழு வரிசையும் ஒரு உயர்-வெற்றிட சூழலை மிகவும் சார்ந்துள்ளது, பொதுவாக 10⁻³ Pa முதல் 10⁻⁶ Pa வரம்பிற்குள்.
அத்தகைய ஒரு தீவிர வெற்றிடத்திற்கான அவசியம் மூன்று மடங்கு. முதலாவதாக, இது எலக்ட்ரான் கற்றையின் தடையற்ற பயணத்தை உறுதி செய்கிறது. அதிகப்படியான வாயு மூலக்கூறுகள் முன்னிலையில், எலக்ட்ரான்கள் சிதறி மோதுகின்றன, அவற்றின் ஆற்றலை இழந்து, இலக்கை நோக்கி செறிவூட்டப்பட்ட வெப்பத்தை வழங்கத் தவறிவிடுகின்றன. கற்றை குவியத்தை நீக்கி, செயல்முறையை பயனற்றதாக மாற்றும்.
இரண்டாவதாக, மிக முக்கியமாக, வெற்றிட சூழல் படிந்த படலத்தின் தூய்மை மற்றும் தரத்தை உறுதி செய்கிறது. அது இல்லாமல், ஆக்ஸிஜன் மற்றும் நீராவி போன்ற எஞ்சிய வாயுக்கள் பூச்சுகளை இரண்டு அழிவுகரமான வழிகளில் மாசுபடுத்தும்: அவை ஆவியாக்கப்பட்ட பொருளுடன் வேதியியல் ரீதியாக வினைபுரிந்து தேவையற்ற ஆக்சைடுகளை உருவாக்கும், மேலும் அவை வளரும் படலத்தில் அசுத்தங்களாக இணைக்கப்படும். இதன் விளைவாக நுண்துளைகள் கொண்ட, குறைவான பிசின் மற்றும் தாழ்வான இயந்திர மற்றும் ஒளியியல் பண்புகளைக் கொண்ட ஒரு படலம் உருவாகிறது. உயர் வெற்றிடம் ஆவியாக்கப்பட்ட அணுக்களுக்கு ஒரு சுத்தமான, "பாலிஸ்டிக்" பாதையை உருவாக்குகிறது, அவை அடர்த்தியான, சீரான மற்றும் உயர்-ஒருமைப்பாடு அடுக்காக ஒடுங்க அனுமதிக்கிறது.
இறுதியாக, வெற்றிடம் எலக்ட்ரான் துப்பாக்கியின் இழையைப் பாதுகாக்கிறது. எலக்ட்ரான்களை வெளியிடும் தெர்மோனிக் கேத்தோடு மிக அதிக வெப்பநிலையில் இயங்குகிறது மற்றும் காற்றில் வெளிப்பட்டால் கிட்டத்தட்ட உடனடியாக ஆக்சிஜனேற்றம் அடைந்து எரிந்துவிடும்.
எனவே, ஒரு அதிநவீன பம்பிங் அமைப்பு - ரஃபிங் பம்புகள் மற்றும் டர்போமோலிகுலர் அல்லது டிஃப்யூஷன் பம்புகள் போன்ற உயர்-வெற்றிட பம்புகளை இணைப்பது - இன்றியமையாதது. முடிவில், வெற்றிட பம்ப் எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாதலை மட்டும் செயல்படுத்துவதில்லை; அது அதை வரையறுக்கிறது, குறைக்கடத்திகள் முதல் ஒளியியல் வரை தொழில்களால் கோரப்படும் உயர்-செயல்திறன் பூச்சுகளை உற்பத்தி செய்வதற்கு அவசியமான ஒரு உடைக்க முடியாத பிணைப்பை உருவாக்குகிறது.வடிகட்டிகள்வெற்றிட பம்புகளைப் பாதுகாக்க, இல்லையென்றால்,எங்களை தொடர்பு கொள்ள.
இடுகை நேரம்: நவம்பர்-12-2025
