ஆவியாதல் பூச்சு, ஒரு முக்கிய இயற்பியல் நீராவி படிவு (PVD) செயல்முறை, அடிப்படையில் வெற்றிட தொழில்நுட்பத்தை நம்பியுள்ளது. வெற்றிட பம்ப் என்பது ஒரு துணை சாதனம் மட்டுமல்ல, மிகவும் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட மூலக்கூறு அளவிலான சூழலை உருவாக்கி பராமரிப்பதன் மூலம் முழு செயல்முறையையும் செயல்படுத்தும் மூலக்கல்லாகும். அதன் செயல்பாடு எளிய காற்று அகற்றலுக்கு அப்பால் நீண்டுள்ளது, உயர்தர செயல்பாட்டு மெல்லிய படலங்களை வைப்பதற்குத் தேவையான துல்லியமான இயற்பியல் நிலைமைகளை நிறுவுகிறது.
அதிக வெற்றிடம் தேவைப்படுவதற்கான முதன்மையான காரணம், ஆவியாகும் துகள்களின் நேர்கோட்டுப் பயணத்தை உறுதி செய்வதாகும். வளிமண்டல அழுத்தத்தில், வாயு மூலக்கூறுகளின் அதிக அடர்த்தி உடனடி மற்றும் சீரற்ற மோதல்களை ஏற்படுத்தி, பூச்சுப் பொருளை சிதறடிக்கிறது. அதிக வெற்றிடத்தின் கீழ் (பொதுவாக 10⁻⁴ முதல் 10⁻⁶ mbar வரை), ஆவியாகும் அணுக்கள் அல்லது மூலக்கூறுகளின் சராசரி இலவச பாதை பல மீட்டர்களாக வியத்தகு முறையில் அதிகரிக்கிறது, இதனால் அவை மூலத்திலிருந்து அடி மூலக்கூறுக்கு நேரடியாக பயணிக்க அனுமதிக்கிறது. இது படலத்தின் தடிமன், சீரான தன்மை மற்றும் கலவை மீது துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை செயல்படுத்துகிறது.
மேலும், அதிக வெற்றிட சூழல் ஆக்ஸிஜனேற்றம் மற்றும் மாசுபாட்டைத் தடுக்கிறது. பெரும்பாலான உலோகங்கள் (எ.கா., அலுமினியம், குரோமியம்) மற்றும் சேர்மங்கள் ஆவியாதல் வெப்பநிலையில் அதிக வினைத்திறன் கொண்டவை. ஆக்ஸிஜன் மற்றும் நீராவி போன்ற வினைத்திறன் கொண்ட வாயுக்களை கிட்டத்தட்ட நீக்குவது, பொருட்கள் அவற்றின் தூய, உலோக நிலையில் படிவதை உறுதி செய்கிறது, இது இறுதி பூச்சுகளில் குறிப்பிட்ட ஒளியியல், மின் அல்லது இயந்திர பண்புகளை அடைவதற்கு மிகவும் முக்கியமானது. இந்த சூழல் வலுவான படல ஒட்டுதலுக்கு அவசியமான மாசுக்களை உறிஞ்சுவதன் மூலம் அணு ரீதியாக சுத்தமான அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பையும் வழங்குகிறது.
வெற்றிட பம்ப் அமைப்பு ஒரு சுற்றுச்சூழல் பொறியாளராக செயல்படுகிறது. இது தேவையான அடிப்படை அழுத்தத்தை விரைவாக நிறுவ வேண்டும், பொருட்கள் மற்றும் சாதனங்களிலிருந்து வெளியேற்றப்படும் வாயுக்களை அகற்றுவதன் மூலம் நிலைத்தன்மையை மாறும் வகையில் பராமரிக்க வேண்டும், மேலும் எதிர்வினை செயல்முறைகளில் துணை தயாரிப்புகளைக் கையாள வேண்டும். இந்த நிலைத்தன்மை சீரான தொகுதி-க்கு-தொகுதி உற்பத்தி தரத்திற்கு முக்கியமாகும்.
இந்த துல்லியமான அமைப்பைப் பாதுகாப்பதில் இருந்து வடிகட்டுதலுக்கான முக்கியமான தேவை எழுகிறது. பூச்சு செயல்முறையே நுண்ணிய துகள்கள், தெறித்த நீர்த்துளிகள் அல்லது ஒடுக்கக்கூடிய நீராவிகளை உருவாக்க முடியும். சரியான வழிமுறைகள் இல்லாமல்உள்ளீட்டு வடிகட்டி, இந்த மாசுபடுத்திகள் வெற்றிட பம்பிற்குள் மீண்டும் இழுக்கப்படலாம். இது ரோட்டார்கள் மற்றும் பிளேடுகளில் தேய்மானம் அதிகரிப்பதற்கும், பம்ப் எண்ணெயை மாசுபடுத்துவதற்கும் (எண்ணெய் சீல் செய்யப்பட்ட அமைப்புகளில்), மற்றும் பம்ப் வேகம் மற்றும் இறுதி வெற்றிடத்தின் படிப்படியான சீரழிவுக்கும் வழிவகுக்கிறது. இறுதியில், இது செயல்முறை நிலைத்தன்மையை சமரசம் செய்கிறது, பம்ப் சேவை ஆயுளைக் குறைக்கிறது மற்றும் பராமரிப்பு செலவுகளை அதிகரிக்கிறது. எனவே, துகள் வடிகட்டிகள், மூலக்கூறு பொறிகள் அல்லது குளிர் பொறிகள் போன்ற பொருத்தமான வடிப்பான்களை நிறுவுவது விருப்பமானது அல்ல, ஆனால் வெற்றிட பம்பைப் பாதுகாப்பதற்கும், நிலையான பூச்சு தரத்தை உறுதி செய்வதற்கும், உற்பத்தி நேரத்தைப் பாதுகாப்பதற்கும் ஒரு முக்கிய முதலீடாகும்.
மொத்தத்தில், வெற்றிட விசையியக்கக் குழாய்கள், பொருள் போக்குவரத்து மற்றும் படலம் உருவாக்கத்திற்கு தூய்மையான, மாசுபடாத மற்றும் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட சூழலை வழங்குவதன் மூலம் ஆவியாதல் பூச்சுகளை செயல்படுத்துகின்றன. நம்பகமான, உயர் செயல்திறன் மற்றும் சிக்கனமான மெல்லிய படலம் உற்பத்தியை அடைவதற்கு இந்த திறனை ஒரு வலுவான வடிகட்டுதல் உத்தியுடன் இணைப்பது அவசியம்.
இடுகை நேரம்: டிசம்பர்-25-2025
