ตัวกรองปั๊มสุญญากาศที่ใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

คุณรู้จักอุตสาหกรรมเทคโนโลยีขั้นสูงที่กำลังเติบโตอย่างรวดเร็วอย่างอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์มากน้อยเพียงใด? อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เป็นส่วนหนึ่งของอุตสาหกรรมสารสนเทศอิเล็กทรอนิกส์ และเป็นองค์ประกอบสำคัญของอุตสาหกรรมฮาร์ดแวร์ โดยส่วนใหญ่ผลิตและประกอบอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ เช่น วงจรรวม ไดโอด และทรานซิสเตอร์ เป็นต้น กระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ยังใช้เทคโนโลยีสุญญากาศ ดังนั้นจึงจำเป็นต้องใช้ปั๊มสุญญากาศและตัวกรองด้วย

สภาพแวดล้อมสุญญากาศสามารถป้องกันสิ่งสกปรกและอนุภาคในอากาศไม่ให้ก่อมลพิษต่อชิ้นงานได้อย่างมาก ซึ่งเป็นสิ่งสำคัญอย่างยิ่งต่อคุณภาพของชิปและส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์อื่นๆ อย่างไรก็ตาม อนุภาคเหล่านี้อาจถูกดูดเข้าไปในปั๊มสุญญากาศและทำให้ปั๊มเสียหายได้ ซึ่งไม่เพียงแต่จะทำลายอุปกรณ์เท่านั้น แต่ยังส่งผลต่อคุณภาพของผลิตภัณฑ์อีกด้วย ดังนั้นจึงจำเป็นต้องติดตั้งตัวกรองปั๊มสุญญากาศตัวกรองทางเข้า) เพื่อป้องกันปั๊มสุญญากาศ