หลักการทำงานนั้นขึ้นอยู่กับกลไกทางกายภาพต่างๆ กลไกที่สำคัญที่สุดคือการรวมตัว ซึ่งเกิดขึ้นเมื่ออนุภาคละอองน้ำมันขนาดเล็กชนกันและรวมตัวกันจนกลายเป็นละอองขนาดใหญ่ ละอองเหล่านี้จะถูกดักจับโดยตัวกรองเนื่องจากมีขนาดและน้ำหนักที่เพิ่มมากขึ้น

หลักการอีกประการหนึ่งก็คือการกรองผ่านตัวกรอง ตัวกรองได้รับการออกแบบให้มีรูพรุนขนาดเล็กเพื่อให้ลมบริสุทธิ์ผ่านเข้าไปได้ในขณะที่ดักจับอนุภาคละอองน้ำมัน ขนาดของรูพรุนของตัวกรองจะกำหนดประสิทธิภาพของกระบวนการกรอง รูพรุนที่มีขนาดเล็กกว่าสามารถดักจับอนุภาคละอองน้ำมันที่ละเอียดกว่าได้ แต่จะทำให้แรงดันลดลงและการไหลของอากาศลดลง

การดูแลรักษาไส้กรองละอองน้ำมันเป็นสิ่งสำคัญเพื่อให้มีอายุการใช้งานยาวนานและมีประสิทธิภาพ จำเป็นต้องตรวจสอบและทำความสะอาดหรือเปลี่ยนไส้กรองเบื้องต้นเป็นประจำเพื่อป้องกันการอุดตันและรักษาการไหลเวียนของอากาศให้เหมาะสม นอกจากนี้ ควรตรวจสอบและเปลี่ยนไส้กรองหลักตามคำแนะนำของผู้ผลิตหรือเมื่อแรงดันลดลงเกินขีดจำกัดที่กำหนด

สรุปได้ว่าตัวกรองละอองน้ำมันเป็นส่วนประกอบสำคัญในการทำงานของปั๊มสุญญากาศ หลักการทำงานของตัวกรองคือ การรวมตัวและการกรอง การจับอนุภาคละอองน้ำมันและป้องกันไม่ให้อนุภาคเหล่านี้ถูกปล่อยออกสู่สิ่งแวดล้อม จำเป็นต้องบำรุงรักษาและเปลี่ยนไส้กรองเป็นประจำเพื่อให้มั่นใจถึงประสิทธิภาพและความสะอาดของอากาศเสียที่เหมาะสมที่สุด