Wakuum örtük näme?
Wakuum örtügi, wakuum gurşawynda fiziki ýa-da himiki usullar arkaly substratlaryň üstünde işleýän inçe filmleri ýerleşdirýän ösen tehnologiýa. Esasy gymmaty ýokary arassalykda, ýokary takyklykda we daşky gurşawy goramakda bolup, optika, elektronika, gurallar, täze energiýa we beýleki ugurlarda giňden ulanylýar.
Wakuum örtük ulgamy giriş süzgüçleri bilen enjamlaşdyrylmalymy?
Ilki bilen, wakuum örtükdäki umumy hapalaýjy maddalaryň nämedigini öwreneliň. Mysal üçin, bölejikler, tozan, ýag bugy, suw bugy we ş.m. Örtük kamerasyna girýän bu hapalaýjy maddalar depozit derejesiniň peselmegine, film gatlagynyň deň bolmazlygyna we hatda enjamlara zeper ýetmegine sebäp bolar.
Wakuum örtüginiň giriş süzgüçleri talap edilýär
- Örtük prosesinde maksat material bölejikleri pyrlaýar.
- Film gatlagynyň arassalygy, esasanam optika we ýarymgeçirijilerde ýokarydyr.
- Poslaýjy gazlar bar (reaktiw tüýdükde aňsatlyk bilen öndürilýär). Bu ýagdaýda süzgüç esasan vakuum nasosyny goramak üçin oturdylýar.
Wakuum örtügi giriş süzgüçlerini talap etmeýär
- Wakuum örtük hyzmatyny üpjün edijileriň köpüsi, doly ýagsyz ýokary vakuum ulgamyny ulanýarlar (molekulýar nasos + ion nasosy ýaly) we iş gurşawy arassa. Şonuň üçin giriş süzgüçlerine, hatda işleýän süzgüçlere-de zerurlyk ýok.
- Giriş süzgüçleriniň talap edilmeýän başga bir ýagdaýy bar, ýagny käbir bezeg örtügi ýaly film gatlagynyň arassalygy talaplary ýokary däl.
Nebit diffuziýa nasosy barada beýlekiler
- Nebit nasosy ýa-da ýag diffuziýa nasosy ulanylsa,işleýiş süzgüjigurnalan bolmaly.
- Polimer süzgüç elementi diffuziýa nasosynyň ýokary temperaturasyna çydamly däldir
- Nebit diffuziýa nasosy ulanylanda, nasos ýagy yza gaýdyp, örtük kamerasyny hapalap biler. Şonuň üçin heläkçiligiň öňüni almak üçin sowuk duzak ýa-da ýag çalmagy talap edýär.
Sözümiň ahyrynda wakuum örtük ulgamynyň zerurlygy ýa-da ýokdugygiriş süzgüçleriproses talaplaryna, ulgam dizaýnyna we hapalanmak töwekgelçiligine baglydyr.
Iş wagty: 19-2025-nji aprel
