Inçe film çökdürilişiniň çylşyrymly dünýäsinde elektron şöhle (e-şöhle) bugarmagy ýokary arassalygy, dykyz örtükleri döretmek ukyby bilen tapawutlanýar. Bu tehnologiýany gurşap alýan esasy sorag, wakuum nasosyny talap edýärmi. Jogap biragyzdan hawa. Performanceokary öndürijilikli wakuum ulgamy diňe bir aksesuar däl, eýsem prosesiň täsirli we täsirli işlemegi üçin hökmany şertdir.
Elektron şöhläniň bugarmagynyň özeni, ýokary energiýaly elektron şöhlesini suwda sowadylýan çüýşäniň düzümindäki çeşme materialyna (altyn, kremniý oksidi ýa-da alýumin ýaly) jemlemegi öz içine alýar. Güýçli ýerli ýyladyş materialyň eremegine we buglanmagyna sebäp bolýar. Bu buglanan atomlar soňra çyzykly ýolda gezýärler we substratda jemlenip, inçe film emele getirýärler. Bu yzygiderlilik, adatça 10⁻³ Pa-dan 10⁻⁶ Pa aralygynda ýokary wakuum gurşawyna gaty baglydyr.
Şeýle aşa vakuumyň zerurlygy üç esse. Ilki bilen, elektron şöhlesiniň päsgelçiliksiz syýahatyny üpjün edýär. Gaz molekulalarynyň gaty köp bolmagynda, elektronlar dargap, çaknyşar, energiýasyny ýitirer we konsentrirlenen ýylylygy nyşana ýetirip bilmez. Şöhle defokus bolup, prosesi netijesiz eder.
Ikinjiden, iň esasysy, wakuum gurşawy goýlan filmiň arassalygyny we hilini kepillendirýär. Onsuz kislorod we suw bugy ýaly galyndy gazlar örtügi iki weýran ediji usul bilen hapalar: buglanan material bilen himiki taýdan reaksiýa edip, islenmeýän oksidleri emele getirer we hapalar hökmünde ösýän filme goşular. Bu gözenekli, az ýelmeýän we pes mehaniki we optiki häsiýetlere eýe bolan filme getirýär. Vokary wakuum buglanan atomlar üçin arassa, "ballistik" ýol döredýär, bu bolsa dykyz, birmeňzeş we ýokary bitewilik gatlagyna ýygnanmagyna mümkinçilik berýär.
Ahyrynda wakuum elektron ýaragyň filamentini goraýar. Elektronlary çykarýan termion katod aşa ýokary temperaturada işleýär we howa täsir etse derrew okislenýär we ýakylýar.
Şonuň üçin turbomolekulýar ýa-da diffuziýa nasoslary ýaly gödek nasoslary we ýokary wakuum nasoslary birleşdirýän çylşyrymly nasos ulgamy aýrylmazdyr. Sözümiň ahyrynda wakuum nasosy diňe elektron şöhlesiniň bugarmagyny üpjün etmeýär; ony kesgitleýär, ýarymgeçirijilerden optika çenli pudaklar tarapyndan talap edilýän ýokary öndürijilikli örtükleri öndürmek üçin zerur bolan üznüksiz baglanyşygy emele getirýär. Şeýle hem bolmalysüzgüçlervakuum nasoslaryny goramak üçin, ýok bolsa,bilen habarlaşyň.
Iş wagty: Noýabr-12-2025
