Ösen önümçilikde umumy sorag: Elektron şöhleleri kebşirlemek (EBW) wakuum nasosyny talap edýärmi? Gysga jogap, köplenç halatda sesli hawa. Wakuum nasosy diňe bir aksesuar däl, adaty EBW ulgamynyň ýüregi bolup, özboluşly mümkinçiliklerini döredýär.
EBW-iň özeni materiallary eritmek we birleşdirmek üçin ýokary tizlikli elektronlaryň gönükdirilen akymyny öz içine alýar. Bu proses gaz molekulalaryna aşa duýgur. Wakuum däl gurşawda bu molekulalar elektronlar bilen çaknyşyp, şöhläniň dargamagyna, energiýasynyň ýitmegine we defokusyna sebäp bolardy. Netijede, EBW-iň takyk takyklygynyň we çuňňur aralaşmagynyň maksadyny düýbünden ýeňip, giň, takyk we netijesiz kebşirlemek bolar. Mundan başga-da, elektronlary çykarýan elektron ýaragynyň katody aşa ýokary temperaturada işleýär we howada täsir edilse derrew okislener we ýanar.
Şonuň üçin iň köp ýaýran görnüş bolan “High-Vacuum EBW”, adatça 10⁻²10⁻⁴ Pa aralygynda gaty arassa gurşawy talap edýär. Munuň üçin çylşyrymly köp basgançakly nasos ulgamy zerur. Gödek nasos ilki bilen atmosferanyň esasy bölegini aýyrýar, soň bolsa optimal işlemek üçin zerur şertleri döredýän diffuziýa ýa-da turbomolekulýar nasos ýaly ýokary wakuum nasosy. Bu hapalanmaz, ýokary bütewilikli kebşini üpjün edýär, bu howa we howa, lukmançylyk we ýarymgeçiriji goşundylary üçin zerur bolup durýar.
Orta ýa-da ýumşak vakuum EBW diýlip atlandyrylýan üýtgeşiklik has ýokary basyşda (1-10 Pa töweregi) işleýär. Has oňat öndürijilik üçin nasos wagtyny ep-esli azaldýan hem bolsa, aşa ýaýramagynyň we okislenmeginiň öňüni almak üçin gözegçilik edilýän, pes basyşly gurşawy saklamak üçin wakuum nasoslaryny talap edýär.
Belli bir kadadan çykma, açyk atmosferada ýerine ýetirilýän Wakuum däl EBW. Şeýle-de bolsa, bu ýalňyşdyr. Iş kamerasy ýok edilse-de, elektron ýaragyň özi henizem ýokary vakuum astynda saklanýar. Şöhle soňra howa bilen diferensial basyş aperturalarynyň üsti bilen görkezilýär. Bu usul şöhläniň ep-esli ýaýramagyndan ejir çekýär we berk rentgen goragyny talap edýär, ulanylyşyny ýokary sesli programmalar bilen çäklendirýär.
Sözümiň ahyrynda, elektron şöhlesi bilen wakuum nasosynyň arasyndaky sinergiýa bu güýçli tehnologiýany kesgitleýär. EBW bilen tanalýan iň ýokary hilli we takyklygy gazanmak üçin wakuum nasosy mümkin däl - bu düýpli zerurlyk.
Iş wagty: Noýabr-10-2025
