Buglandyryş örtügi, esasy fiziki bug çökündisiniň (PVD) prosesi, esasan, wakuum tehnologiýasyna daýanýar. Wakuum nasosy diňe kömekçi enjam däl, eýsem ýokary derejede gözegçilik edilýän molekulýar ölçegli gurşawy döretmek we saklamak arkaly tutuş prosesi üpjün edýän esasy daşdyr. Onuň funksiýasy ýönekeý howany aýyrmakdan has giň gerim alýar we ýokary hilli funksional inçe plýonkalary çökündilemek üçin zerur bolan takyk fiziki şertleri döredýär.
Ýokary wakuum talap etmegiň esasy sebäbi bugarylan bölejikleriň göni çyzyk boýunça hereketini üpjün etmekdir. Atmosfera basyşynda gaz molekulalarynyň ýokary dykyzlygy derrew we tötänleýin çaknyşyklara sebäp bolýar we örtük materialyny saçraýar. Ýokary wakuumda (adatça 10⁻⁴ - 10⁻⁶ mbar) bugarylan atomlaryň ýa-da molekulalaryň ortaça erkin ýoly birnäçe metre çenli ep-esli artýar we olaryň çeşmeden substrata gönüden-göni hereket etmegine mümkinçilik berýär. Bu bolsa plýonkanyň galyňlygyna, birmeňzeşligine we düzümine takyk gözegçilik etmäge mümkinçilik berýär.
Mundan başga-da, ýokary wakuum gurşawy oksidlenmegiň we hapalanmagyň öňüni alýar. Metallaryň köpüsi (meselem, alýumin, hrom) we birleşmeler buharlanma temperaturasynda ýokary derejede reaksiýa eýedir. Kislorod we suw bugy ýaly reaksiýa beriji gazlaryň diýen ýaly ýok edilmegi materiallaryň arassa, metal ýagdaýynda çökmegini üpjün edýär, bu bolsa soňky örtükde belli bir optiki, elektrik ýa-da mehaniki häsiýetlere ýetmek üçin möhümdir. Bu gurşaw şeýle hem hapalanmalary desorbsiýa etmek arkaly atom taýdan arassa substrat ýüzüni üpjün edýär, bu bolsa güýçli plýonka ýelmeşmegi üçin möhümdir.
Wakuum nasos ulgamy daşky gurşaw inženeri hökmünde hereket edýär. Ol zerur bolan esasy basyşy çaltlyk bilen döretmeli, materiallardan we enjamlardan çykýan gazlary aýyrmak arkaly durnuklylygy dinamiki taýdan saklamaly we reaktiw proseslerde goşmaça önümleri işlemeli. Bu durnuklylyk tapgyrlaýyn önümçilik hiliniň yzygiderliligi üçin möhümdir.
Filtrleme üçin möhüm zerurlyk şu takyk ulgamy goramakdan ýüze çykýar. Örtmek prosesiniň özi ownuk bölejikleri, çaýkanýan damjalary ýa-da kondensasiýa bolýan buglary döredip biler. Degişli bolmasagiriş filtri, bu hapaçylyklar wakuum nasosyna yzyna çekilip bilner. Bu bolsa rotorlaryň we pyçaklaryň aşynmagynyň artmagyna, nasos ýagynyň hapalanmagyna (ýag bilen möhürlenen ulgamlarda) we nasos tizliginiň we ahyrky wakuumyň kem-kemden pese gaçmagyna getirýär. Netijede, bu prosesiň durnuklylygyna zyýan ýetirýär, nasosyň hyzmat möhletini gysgaldýar we tehniki hyzmat çykdajylaryny artdyrýar. Şonuň üçin, degişli süzgüçleri - meselem, bölejik süzgüçleri, molekulýar duzaklary ýa-da sowuk duzaklary - gurmak hökmany däl, eýsem wakuum nasosyny goramak, örtügiň hiliniň yzygiderli bolmagyny üpjün etmek we önümçiligiň iş wagtyny goramak üçin möhüm maýa goýumdyr.
Umuman alanyňda, wakuum nasoslary materiallary daşamak we plýonka emele getirmek üçin arassa, hapalanmadyk we gözegçilik edilýän gurşawy üpjün etmek arkaly buharlandyryş örtügini üpjün edýär. Bu mümkinçiligi ygtybarly, ýokary öndürijilikli we ykdysady taýdan netijeli inçe plýonka önümçiligini gazanmak üçin berk süzgüç strategiýasy bilen utgaşdyrmak möhümdir.
Ýerleşdirilen wagty: 2025-nji ýylyň 25-nji dekabry
