Què és el recobriment al buit?
El recobriment al buit és una tecnologia avançada que diposita pel·lícules primes funcionals a la superfície de substrats mitjançant mètodes físics o químics en un entorn de buit. El seu valor fonamental rau en l'alta puresa, l'alta precisió i la protecció del medi ambient, i s'utilitza àmpliament en òptica, electrònica, eines, noves energies i altres camps.
El sistema de recobriment al buit ha d'estar equipat amb filtres d'entrada?
Primer, aprenguem quins són els contaminants comuns en el recobriment al buit. Per exemple, partícules, pols, vapor d'oli, vapor d'aigua, etc. Aquests contaminants que entren a la cambra de recobriment faran que la velocitat de deposició disminueixi, que la capa de pel·lícula sigui desigual i fins i tot que l'equip es faci malbé.
La situació en què el recobriment al buit requereix filtres d'entrada
- Durant el procés de recobriment, el material objectiu esquitxa partícules.
- El requisit de puresa de la capa de pel·lícula és alt, especialment en els camps de l'òptica i els semiconductors.
- Hi ha gasos corrosius (que es produeixen fàcilment en la pulverització catòdica reactiva). En aquest cas, el filtre s'instal·la principalment per protegir la bomba de buit.
La situació en què el recobriment al buit no requereix filtres d'entrada
- Molts proveïdors de serveis de recobriment al buit utilitzen un sistema d'alt buit completament lliure d'oli (com ara una bomba molecular + una bomba d'ions), i l'entorn de treball és net. Per tant, no calen filtres d'entrada, ni tan sols filtres d'escapament.
- Hi ha una altra situació en què no es requereixen filtres d'entrada, és a dir, el requisit de puresa de la capa de pel·lícula no és alt, com ara en el cas d'alguns recobriments decoratius.
Altres sobre la bomba de difusió d'oli
- Si s'utilitza una bomba d'oli o una bomba de difusió d'oli,filtre d'escapaments'ha d'instal·lar.
- L'element filtrant de polímer no és resistent a les altes temperatures de la bomba de difusió
- Quan s'utilitza una bomba de difusió d'oli, l'oli de la bomba pot tornar a fluir i contaminar la cambra de recobriment. Per tant, cal una trampa de fred o un deflector d'oli per evitar l'accident.
En conclusió, si el sistema de recobriment al buit necessitafiltres d'entradadepèn dels requisits del procés, del disseny del sistema i del risc de contaminació.
Data de publicació: 19 d'abril de 2025
